在日常生活中，我們感知外界靠眼睛、耳朵和鼻子舉行，在信息化時代有所提升、物聯(lián)網(wǎng)時代行動力、智能化時代自主研發，我們通過傳感器連接世界哪些領域。在工業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境充分發揮、安全服務、智能生活中，氣體的監(jiān)測是不可少的環(huán)節(jié)相互融合，氣體傳感器在其中扮演了重要的角色選擇適用。

隨著經(jīng)濟的發(fā)展、技術(shù)的進步提單產，氣體傳感器的應(yīng)用更加廣泛核心技術，逐漸向小型化、集成化的特性、模塊化可持續、智能化方向發(fā)展。這些年示範推廣，隨著MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)的進步情況，以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的氣體傳感器逐步被開發(fā)出來，應(yīng)用到各種場合大大縮短。

MEMS全稱是Micro Electromechanical System堅持好，即微機電系統(tǒng)，是指在尺寸幾毫米甚至更小的材料上構(gòu)建一個獨立的智能系統(tǒng)高質量，滿足一定的使用功能構建。MEMS涉及物理學(xué)、半導(dǎo)體大幅增加、光學(xué)平臺建設、電子工程、化學(xué)服務延伸、材料工程先進技術、機械工程、醫(yī)學(xué)貢獻力量、信息工程及生物工程等多種學(xué)科和工程技術(shù)合作，為智能系統(tǒng)、消費電子前景、可穿戴設(shè)備、智能家居、系統(tǒng)生物技術(shù)的合成生物學(xué)與微流控技術(shù)等領(lǐng)域開拓了廣闊的用途進一步。

MEMS加速度計宣講手段、MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器覆蓋範圍、MEMS陀螺儀一站式服務、MEMS濕度傳感器等在我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常用到功能。MEMS氣體傳感器是近些年興起的一項先進技術(shù)，用于探測氣體濃度的MEMS傳感器支撐作用。

一積極性、MEMS氣體傳感器的原理

a) 氣敏材料: MEMS氣體傳感器采用特殊的氣敏材料，能與目標氣體發(fā)生特定的化學(xué)反應(yīng)解決。這種反應(yīng)會導(dǎo)致材料的電阻性能、容抗或其他電性質(zhì)的變化。

b) 微電子機械系統(tǒng): 傳感器芯片上的微機械結(jié)構(gòu)能夠引起氣敏材料的變形或位移參與能力。當目標氣體與材料發(fā)生反應(yīng)時法治力量，產(chǎn)生的壓力或力量將改變微機械結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。

c) 電學(xué)測量: MEMS氣體傳感器通過測量材料電阻新的力量、電容等電性質(zhì)的變化來檢測氣體濃度技術研究。這些電性質(zhì)的變化與目標氣體的濃度呈正相關(guān)關(guān)系。

二分享、MEMS氣體傳感器的優(yōu)點
（1）微型化：MEMS器件體積小現場，一般單個 MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕開展研究、耗能低高質量。同時微型化以后的機械部件具有慣性小、諧振頻率高力量、響應(yīng)時間短等優(yōu)點可靠。MEMS更高的表面體積比(表面積比體積)可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/span>

(2)硅基加工工藝，可兼容傳統(tǒng) IC生產(chǎn)工藝：硅的強度方式之一、硬度和楊氏模量與鐵相當我有所應，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢首要任務，同時可以很大程度上兼容硅基加工工藝機構。

(3)批量生產(chǎn)：以單個 5mm×5mm尺寸的 MEMS傳感器為例，用硅微加工工藝在一片 8英寸的硅片晶元上可同時切割出大約 1000個 MEMS芯片提升行動，批量生產(chǎn)可大大降低單個 MEMS的生產(chǎn)成本。

(4)集成化：一般來說技術交流，單顆 MEMS往往在封裝機械傳感器的同時交流，還會集成ASIC芯片，控制 MEMS芯片以及轉(zhuǎn)換模擬量為數(shù)字量輸出關註。同時不同的封裝工藝可以把不同功能溝通協調、不同敏感方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列提供堅實支撐、微執(zhí)行器陣列活動，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。

(5)多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子還不大、機械好宣講、材料、制造特性、信息與自動控制服務機製、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科共創輝煌，并集約了當今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多成果培訓。

MEMS氣體傳感器體積小、成本低的特點為我們的生活提供了無限的想象使用，隨著技術(shù)的日益進步，可以實現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用。